上海车田信息技术有限公司成立于2015年，

由半导体设备行业内超过10年的光学、软件、工艺等工作背景的博士和专家组建成立。

核心研发团队成员来自国内外一流半导体设备和仪器公司。为半导体、LED、Solar、LCD等行业提供光学测量和光学检测设备及解决方案。

目前已经拥有核心产品OEM量产能力，核心产品包括：高温原位测量系统、EPD刻蚀终点检测系统。

产品精度和质量已达到或超过国外主流供应商的同类产品，具有世界先进水平。

Aitex RTC（MOCVD设备原位测量系统）

Aitex EndPoint （ Etch设备终点检测系统）

在化合物半导体外延设备、半导体刻蚀设备上有成功的OEM量产经验。