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IN-SITU高温原位测量系统
公司研发的Aitex高温原位检测技术在国内量产外延设备上已经有数十台的应用,经过多年的验证,在某些参数方面优于Laytec产品。
EPD终点检测系统
Aitex EndPoint ( Etch设备终点检测系统)
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我们为客户提供优质的技术服务及技术保障,为您在使用过程中出现的任何问题保驾护航
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